±ØÃÊ´Ü ·¹ÀÌÀú ¹× Áøµ¿ÀÚ ÀÀ¿ë Ãʹ̼¼ ÇÏÀ̺긮µå °¡°ø ½Ã½ºÅÛ °³¹ß
±ØÃÊ´Ü ·¹ÀÌÀú ¹× Áøµ¿ÀÚ ÀÀ¿ë Ãʹ̼¼ ÇÏÀ̺긮µå °¡°ø ½Ã½ºÅÛ °³¹ß
ÀüÁø¿ì, ÃÖ¿ø¼®, Á¶¼ºÇÐ / Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø ±¤ÀÀ¿ë±â°è¿¬±¸½Ç
¼¼°è¿¡¼´Â óÀ½À¸·Î °³¹ßµÈ °¡°øÁ¤¹Ðµµ 50nm, Ç¥¸éÁ¶µµ 10nmÀÇ Ãʹ̼¼ °¡°ø±â¼úÀÌ ±Þ¼Óµµ·Î ±¹³» »ê¾÷°è¿¡ ÀüÆÄµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¹Ì ¼¼°èÀû ÀüÀÚ ±â¾÷ÀÇ Ã·´Ü Á¦Ç°¿¡ Àû¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇâÈÄ IT¿Í BT, NT À¶ÇÕ±â¼úÀÇ ½Ã³ÊÁö âÃâÀ» À§ÇÑ ±â¹Ý±â¼ú·Î ¹ßÀüÇÏ¿© ±¹°¡ ±â¼ú °æÀï·Â °ÈÀÇ Áß¿äÇÑ ¹Ø°Å¸§ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. Ãʹ̼¼ °¡°ø±â¼úÀº ¡®±ØÃÊ´Ü ·¹ÀÌÀú ¹× Áøµ¿ÀÚ ÀÀ¿ë Ãʹ̼¼ ÇÏÀ̺긮µå °¡°ø ½Ã½ºÅÛ °³¹ß¡¯À» ÁÖÁ¦·Î Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø ±¤ÀÀ¿ë±â°è¿¬±¸½Ç Á¶¼ºÇÐ ¿¬±¸ÆÀÀÌ 6³â°£ÀÇ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇØ 2015³â °³¹ß ¿Ï·áÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ±ØÃÊ´Ü ·¹ÀÌÀú(Femtosecond Laser)¿Í ÃÊÀ½ÆÄ Áøµ¿(Ultrasonic vibration)À» À¶ÇÕÇÑ ÇÏÀ̺긮µå °¡°ø ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î °³¹ß ´ç½Ã ÀÌ´ÞÀÇ °úÇнüúÀλó(2015³â), ±¹¹«ÃѸ®Ç¥Ã¢(2015³â)À» ¼ö»óÇÏ¿´°í, À̵ëÇØÀÎ 2016³â¿¡´Â ±¹°¡¿¬±¸°³¹ß ¿ì¼ö¼º°ú 100¼±, ¿ÃÇØÀÇ 10´ë ±â°è±â¼ú, ¿ì¼ö½Ç¿ë»ç·Ê ¼±Á¤ µîÀ» ÅëÇØ ±â¼úÀû ¿Ï¼ºµµ ¹× »ê¾÷ ÀÀ¿ë¼ºÀ» ÀÔÁõ ¹Þ¾Ò´Ù. ´ÙÀ½ ³»¿ëÀº Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø ±¤ÀÀ¿ë±â°è¿¬±¸½Ç ¿¬±¸ÆÀÀÇ µµ¿òÀ» ¹Þ¾Æ ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÀÚ¼¼ÇÑ ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ ÁÖ¿ä ³»¿ëÀ» ¼Ò°³Çϰí ÀÖ´Ù. ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº ¿¬±¸ÆÀ(shcho@kimm.re.kr)À¸·Î ¹®ÀÇÇÏ¸é µÈ´Ù.
=> ´õ¿í ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº ¿ù°£ ·¹ÀÌÀú±â¼ú 3¿ùÈ£(Åë±Ç 290È£)¿¡ °ÔÀçµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù.
|