반도체 산업 최대 전시회 SEMICON Korea 2017
이오테크닉스 등 10여개 레이저 관련 기업 출품
반도체 공정기술의 새로운 혁신, 최신 기술, 그리고 미래를 엿볼 수 있는 국내 최대 규모의 반도체 재조기술전시회인 세미콘코리아(SEMICON Korea 2017)가 지난 2월 8일부터 10일까지 3일 동안 서울 코엑스에서 개최됐다. 올해로 30회를 맞는 세미콘코리아는 국제반도체장비재료협회 주관으로 전 세계 반도체 장비재료산업을 선도하는 500개 업체가 1,800부스 규모로 출품, 마이크로전자 제조공정 솔루션을 비롯한 최신 공정기술, 장비, 재료 등을 선보이며 반도체산업의 현황과 전망을 제시했다. 올해 전시회에는 주최측 추산 4만여명이 참관했다. 세미콘코리아는 여타 전문 전시회와 뚜렷한 구별을 두고 있다. 단순히 신제품과 주력 제품을 소개하는 차원에서 벗어나 최신 제품 트랜드에 맞는 다양한 주제의 기술발표가 뒷밭침하고 있다. 기조연설에 SK하이닉스, HP, imec, 마이크로소프트에서 연사가 참여하여, ‘이노베이션-미래를 설계하다’라는 주제로 반도체 미래에 대해 다양한 관점에서의 발표가 이어졌다. 전시회에서는 또한 반도체 공정별 전문가가 단계별 공정 이슈와 최신 기술을 논하는 SEMI 기술심포지엄(STS), 반도체업계의 국제경쟁력 강화에 필수적인 국제 표준을 소개하는 SEMI 국제표준회의, 주요 해외소자업체가 참여하는 구매상담회, 글로벌 장비공급업체와 국내 부품업체 간의 신규 비즈니스 협력을 지원하는 OEM 해외장비업체 구매상담회, 업계 리더가 한 자리에 모이는 네트워킹 행사인 프레지던트 리셉션 등을 비롯한 다채로운 행사가 마련되어 반도체 관련 정보 제공의 장을 마련키도 했다. 레이저 관련 기업들은 이번 전시회를 통해 반도체, LED 등의 제조 과정에서 마킹(Marking), 드릴링(Drilling), 엣칭(Etching) 등에 활용되는 다양한 종류의 레이저 소스와 장비를 소개했다. 세계 반도체 레이저 마킹 시장을 선도하고 있는 이오테크닉스는 전시회를 통해 반도체 제작 공정에서 활용되는 다양한 종류의 레이저 마킹 기술과 응용장비를 출품했다. 레이저스펙트라, 큐빅레이저시스템도 다양한 종류의 레이저 소스와 광학 부품을, 예놉틱코리아는 광학 관련 부품 및 시스템을 각각 전시 소개했다. 뉴포트는 전시회를 통해 6자유도 위치제어 시스템(헥사포드) 등 레이저 응용 솔루션을 전시 소개했다. 코히런트코리아는 고출력 산업용 펨토초 레이저(Monaco) 및 피코초 레이저(HyperRapid NX)를 소개했다. Monaco는 40 uJ @ 1 MHz, 10 uJ @ 4 MHz의 높은 반복 주파수로 미세가공을 요구하는 박막 절단, 실리콘 웨이퍼의 스크라이빙 등의 고품질 가공에 적합한 제품이다. 또한 견고한 LD여기 MOPA 디자인으로 24시간 생산 공정에 활용 가능하며, 10 ps까지의 펄스 폭 조정이 가능한 펄스 가변형 모델도 갖추고 있다. HyperRapid NX는 기존의 HyperRapid 시리즈의 기능을 유지하면서, Rapid NX 시리즈에서 검증된 모듈 구조 및 전자내장 일체형 개념을 갖춘 레이저이다. 초대 펄스 에너지는 250 uJ이며, 출력은 최대 100 W(IR), 50 W(Green), 30 W(UV) 등이다. 한국트럼프지엠비에이취는 고품질, 생산성 및 비용 효율성을 보장하는 제너레이터(TruPlasma) 및 극초단 펄스레이저(TruMicro)를 소개했다. 이 가운데 TruMicro 5000 시리즈는 최대 평균 출력(150 W) 및 10 피코세컨드 미만의 극도로 짧은 펄스를 통해 거의 모든 재료를 고속으로 기화시켜서 열 영향 구역이 거의 나타나지 않는다. 반도체, LED 및 플렉서블 디스플레이 제조 등의 미세 공정에서 품질, 생산성 및 비용 효율성을 극대화 시킬 수 있다. www.semiconkorea.org
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레이저기술
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