|
New Technology
½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
HOME > ·¹ÀÌÀú±â¼ú > ½Å±â¼ú/½ÅÁ¦Ç° |
|
|
¤ýÀÛ¼ºÀÚ |
°ü¸®ÀÚ
|
¤ýÀÛ¼ºÀÏ |
2015-08-12 (¼ö) 18:11 |
|
¤ýÃßõ: 0 ¤ýÁ¶È¸: 1732
|
|
|
±â°¡Æ÷Åæ, ³×¿Â°¡½º °ø±ÞÀ§±â ±¸Á¶ ÇÁ·Î±×·¥ Ãâ½Ã
³×¿Â°¡½º °ø±ÞÀ§±â ÇØ°áÀ» À§ÇÑ Á¾ÇÕ ÆÐÅ°Áö ÇÁ·Î±×·¥ °³¹ß
¼¼°èÀû ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±¤¿ø Á¦Á¶»çÀÎ ±â°¡Æ÷Åæ(Gigaphoton Inc.)ÀÌ ¡®³×¿Â°¡½º °ø±ÞÀ§±â ±¸Á¶ ÇÁ·Î±×·¥¡¯ÀÇ Ãâ½Ã¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù. ÀÌ ÇÁ·Î±×·¥Àº ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ´ë·®»ý»êȯ°æ À¯Áö¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ³×¿Â°¡½ºÀÇ °ø±Þ°ú ºñ¿ë ¸é¿¡¼ Á¡ÁõÇÏ°í ÀÖ´Â ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ¿© °í°´¿¡°Ô Áï°¢ÀûÀÎ Áö¿øÀ» Á¦°øÇϱâ À§ÇØ 3°¡ÁöÀÇ È®ÀåµÈ ÆÐÅ°Áö·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù. ÆÐÅ°Áö´Â ¡â»õ·Î¿î °¡½º °ø±Þ ¾÷üÀÇ ½Å¼ÓÇÑ ÀÚ°Ýȹµæ ¡â³×¿Â°¡½º »ç¿ë·®À» ÁÙÀ̱â À§ÇÑ ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ eTGM±â¼ú ÀÏÁ¤±â°£ ¹«·á½ÃÇà ¡âȸ»çÀÇ ÃֽŰ¡½º ÀçÈ°¿ë ±â¼úÀÎ hTGMÀÇ µµÀÔ °¡¼ÓÈ µîÀÌ´Ù. ¿ì¼±, ÀÌÀü¿¡´Â ½Å±Ô °¡½º °ø±Þ¾÷üÀÇ ½ÃÇè ¹× ÀÚ°ÝÃëµæ¿¡ 6~12°³¿ùÀÌ ¼Ò¿äµÇ¾úÁö¸¸ ÀÌ »õ·Î¿î ÇÁ·Î±×·¥À¸·Î ÀÎÇØ °í°´Àº 1°³¿ùÀ̶ó´Â ºü¸¥ ½Ã°£ ¾È¿¡ ½Å±Ô °¡½º°ø±Þ¾÷ü¸¦ ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇѽÃÀûÀ¸·Î ¹«·á Á¦°øµÇ´Â ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ eTGM ±â¼úÀº ¶ÇÇÑ G41K ½Ã¸®ÁîÀÇ KrF ·¹ÀÌÀú¿Í GT40A ½Ã¸®ÁîÀÇ ArF ·¹ÀÌÀú·Î È®ÀåµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. È®Àå Á¦°øÀº 2015³â 11¿ù¿¡ ½ÃÀ۵ȴÙ. eTGMÀ» µµÀÔÇÔÀ¸·Î½á °í°´Àº KrF°ú ArF ·¹ÀÌÀú¿¡¼ ³×¿Â »ç¿ë·®À» 25% ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ArF ¾×ħ ·¹ÀÌÀúÀÇ °æ¿ì 50%±îÁö ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ ±â°¡Æ÷ÅæÃøÀÇ ¼³¸íÀÌ´Ù. ¸¶Áö¸·À¸·Î ±â°¡Æ÷ÅæÀÇ ÃֽŠ°¡½º ÀçÈ°¿ë±â¼ú hTGM´Â ¸ðµç ·¹ÀÌÀú À¯Çü¿¡ Àû¿ë °¡´ÉÇϸç, 2016³â Ãâ½ÃµÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. hTGM ±â¼úÀ» ½ÇÇàÇÔÀ¸·Î½á °í°´Àº °¡½º ¼Òºñ·®ÀÇ 50%±îÁö ÀçÈ°¿ë ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ÇÑÆí, ³×¿ÂÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ ·¹ÀÌÀú¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¾Æ¸£°ï(AR) ¹× Å©¸³Åæ(Kr) °¡½º¸¦ À§ÇÑ ¿ÏÃæ°¡½º·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ¿ìÅ©¶óÀ̳ª´Â ¿À´Ã³¯ ³×¿Â °¡½ºÀÇ ÁÖ¿ä »ý»ê±¹ÀÌÁö¸¸ ±¹°¡ÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ À§±â·Î ÀÎÇØ °ø±Þ°¨¼Ò°¡ ¹®Á¦°¡ µÇ¾ú°í ¿ì·Á°¡ Á¡Â÷ Áõ´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â °¡°Ý»ó½ÂÀ¸·Î À̾îÁ® 2015³â¿¡´Â °ø±ÞÀÌ ºÎÁ·ÇÑ Áö°æ±îÁö ¾ÇȵǾú´Ù. ÀÌ·Î ÀÎÇØ ¼¼°è ³×¿Â°¡½ºÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒºñÁÖüÀÎ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ Áß´ëÇÑ »óȲÀÌ ¹ß»ýÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ À§±â¿¡ ´ëóÇϱâ À§ÇØ ±â°¡Æ÷ÅæÀº ÀÌ¹Ì 2011³â 11¿ù ¸ðµç ½Å±Ô ¹× ±âÁ¸ GT½Ã¸®Áî ArF ¾×ħ·¹ÀÌÀú¿¡ ´ëÇØ eTGM ±â¼úÀ» ÇѽÃÀûÀ¸·Î ¹«·áÁ¦°ø ÇÏ°Ú´Ù°í ¹ßÇ¥Çϱ⵵ Çß´Ù. Å丶·ç È÷Åä½Ã(Hitoshi Tomaru) ±â°¡Æ÷Åæ »çÀå °â ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO)´Â ¡°³×¿ÂÀº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ÇʼöºÒ°¡°áÇÑ °¡½ºÀÌ¸ç ¿ì¸®´Â ÀÌ·¯ÇÑ »óȲÇÏ¿¡¼ Áö¼ÓµÇ´Â °ø±Þ À§±â°¡ »ý»êÀÇ ¿¬¼Ó¼ºÀ» À§ÇùÇÏ´Â ¸Å¿ì ½É°¢ÇÑ ¹®Á¦ÀÓÀ» ÀνÄÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°±â°¡Æ÷ÅæÀº °í°´À» À§ÇÑ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ »ý»êÀ» Áö¿øÇϱâ À§ÇÏ¿© °¡½º °ø±Þ ¾÷üÀÇ ½Å¼ÓÇÑ ÀÚ°ÝÃëµæ°ú °¡½º»ç¿ë·®ÀÇ »ó´çÇÑ °¨¼Ò ±×¸®°í °¡½º ÀçÈ°¿ë ±â¼úÀÇ Á¶±â µµÀÔÀ̶ó´Â ¼¼ °¡Áö¸¦ ÇÙ½ÉÀ¸·Î °¡´ÉÇÑ ¸ðµç ³ë·ÂÀ» ´Ù ÇÒ °ÍÀÌ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. www.gigaphoton.com
|
|
|
¹øÈ£ |
|
±Û Á¦ ¸ñ |
ÀÛ¼ºÀÚ |
ÀÛ¼ºÀÏ |
Á¶È¸ |
65 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, EUV ÆÄÀÏ·µ ±¤¿øÀ¸·Î ¹ß±¤È¿À² 5%ÀÇ ¼¼°è±â·Ï ¼ö¸³
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-11-08
|
1274
|
|
64 |
|
Áö±¸¿Â³È À¯¹ß ºí·¢Ä«º», ·¹ÀÌÀú Á¤¹Ð ÃøÁ¤±â¼ú ±¹³» °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-10-07
|
1353
|
|
63 |
|
ÄÚÈ÷·±Æ®, °íÃâ·Â »ê¾÷¿ë ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀúÀÇ Â÷¼¼´ë ¸ðµ¨ HyperRap..
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-07-08
|
1511
|
|
62 |
|
´ëÇѱ¤Åë½Å, 300W±Þ ±¤¼¶À¯ ·¹ÀÌÀú Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-07-08
|
1622
|
|
61 |
|
´Ùºñµå ¸ð¼ÇÅ×Å©³î·¯Áö, ¹Ì´Ï·¹ÀÌÀúÁ¶°¢±â DL-320 Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-06-03
|
1997
|
|
60 |
|
Çǽ¬¸Ç ÄÚÆÛ·¹À̼Ç, ±¤¼¶À¯ ÀÚµ¿È 'º¥Ä¡Å¾ ·Îº¿' Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2016-04-05
|
1350
|
|
59 |
|
Æijª¼Ò´Ð, Áö¼ÓÆÄ 4.5W °íÃâ·Â ûÀÚ»ö ¹ÝµµÃ¼ ·¹ÀÌÀú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-11-11
|
1941
|
|
58 |
|
Æ®¸®¾ÆºäƼ, ·¹ÀÌÀú Á¦¸ð±â ½ÅÁ¦Ç° Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-11-11
|
1594
|
|
57 |
|
Åõ½Ä½º ÄÚ¸®¾Æ, Laser Cutting Head
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-09-04
|
2458
|
|
56 |
|
¸ß½ºÇ÷η¯, ¼¼°èÃÖÃÊ ¼öºÐ»ê ±×·¡ÇÉ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-09-04
|
1752
|
|
55 |
|
±â°¡Æ÷Åæ, ³×¿Â°¡½º °ø±ÞÀ§±â ±¸Á¶ ÇÁ·Î±×·¥ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-08-12
|
1732
|
|
54 |
|
°íÈ¿À² žçÀüÁö¸¦ °ª½Î°í ¼Õ½±°Ô ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ±æ ¿·Á
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-07-11
|
1669
|
|
53 |
|
°Ç±¹´ë Á¤¼øö ±³¼öÆÀ, ·¹ÀÌÀú ºûÀ¸·Î ÃË°¨À¯¹ß ¿øõ±â¼ú °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-07-11
|
1641
|
|
52 |
|
´ºÆ÷Æ®, Çѱ¹½ÃÀå °ø·« À§ÇÑ ½ÅÁ¦Ç° ´ë°Å ¼Ò°³
|
°ü¸®ÀÚ |
2015-01-09
|
2211
|
|
51 |
|
TANAKA, 3D ÇÁ¸°ÅÍ¿ë ¹é±Ý ºÐ¸» °³¹ß
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-12-11
|
2277
|
|
50 |
|
¿ÀÅä´Ð½º, ÃÖ´ë 20m °ËÃâ °¡´ÉÇÑ Æ÷Åä¼¾¼ Ãâ½Ã
|
°ü¸®ÀÚ |
2014-12-11
|
2328
|
|
16
|
|